集成电路 光刻技术 直线电机三者的关系。集成电路产业是现代信息社会的基石，集成电路将晶体管、电阻、电容等电子元件连接在小块的硅片上，可使计算机体积更小，功耗更低，速度更快。

光刻技术是迄今所能达到的较高精度的加工技术。原理利用光化学反应原理和化学、物理刻蚀方法将掩模板上的图案传递到晶圆的工艺技术。光刻技术作为集成电路较重要的制造工艺，推动集成电路的发展，他们两者可谓是密不可分。

直线电机是国外近年来发展起来的一种新型电机。与旋转电机相比，它不需要中间转换装置（包括齿轮在内的连杆机构），能把电能直接转变为作直线运动的机械能。其具有结构简单、高精度、适合高速直线运动、高加速度、适应性强等优点，常用于各个行业设备中。

光刻机的工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度, 一种开闭环D型迭代学习控制律还提高了直线电机的轨迹跟踪精度。

从以上可以得知，光刻技术是集成电路较重要的制造工艺，直线电机又是光刻设备上好的传动电机。三者关系可谓是非常紧密。

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