HPL高精密直线平台
HPL直线平台是同茂直线电机自主研发生产的高精密直线平台,该平台采用进口7075#航空铝经一体化加工成型,行程从100至600mm,平台同时减少因导轨和铝主题不同的热膨胀系数引起的折弯效应;平台集成具有较好线性表现的开放或增量光栅系统,可以提供亚纳米级的分辨率、重复性和稳定性。
稳定的光学零位,保障双向回零的重复性和可靠性。经激光干涉仪标定补偿,可以轻易获得理想的定位精度,定位精度高达(直线误差修整后)±1μm(Travel≤200mm)。
采用了无铁芯直线电机作为驱动部件。该直驱平台拥有较高的速度、较高的加速度和稳定的精度表现。由于采用零间隙传动,可减少相关结构部件的磨损,同时减少结构部件数量。因此,直线电机平台相对于丝杆驱动,结构更加紧凑,效率更高。直线电机平台为需要高吞吐量、高可靠性、精密定位、静音运行等应用提供了较好的系统解决方案。
同茂直线电机轻松实现您对于高精密定位的要求,高精密直线电机平台需要优良的设计,严苛的轴系装配工艺,具有较高性能,这使得HPL-LM系列直驱平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用,如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。
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