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直线马达在光刻机中的应用

2022/10/13 13:30:58      点击:

直线马达在光刻机中的应用。作为发展智能科技产品重要的芯片,一直被各个行业着重的关注着,发展着。


其实说到芯片,芯片技术涉及到两大方面,一方面是芯片的研发技术,一方面是芯片的智造技术。据直线马达小编所知,在芯片的研发方面,我国已经可以自主实现,但在芯片的智造方面,尤其是10nm以下工艺的智造方面,我国还存在诸多局限。随着生产芯片的企业借由光刻机制造芯片,成为主力设备。


说到光刻机,直线马达逐渐渗透其中,成为主要部件之一,像由科技部和上海市共同推动成立上海微电子装备有限公司就曾从咱昆山同茂电子有限公司购入高性能、高质量的直线马达用于其光刻机产品的开发当中。


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