直线马达式的对准操作。在现在工业中，对准操作在电子制造装备中大量使用。精密对准主要用于光刻工艺中掩模板与晶圆的对准、芯片键合时芯片与基板的对准、表面组装工艺中元器件与PCB基板的对准。此外，精密对准技术也应用于各种加工过程中，如晶圆测试、晶圆划片、各种激光加工工艺中等。

据直线马达小编了解，精密位移工作台是实现精密对准的另一项关键技术。各种对准操作中都需要使用精密位移工作台。对于微米级定位精度的工作台。一般使用宏动工作台就能实现，对于纳米级定位精度的工作台，则需要使用宏动和微动复合工作台技术。这类工作台的基本结构是在宏动工作台的基础上叠加上微动工作台。宏动工作台实现长行程的运动，定位精度在几十微米范围。微动工作台使用微位移技术，行程为几微米到几百微米，定位精度可实现纳米或亚纳米级。

据悉，此种平台重要的还是系统用于驱动工作台或机械手的运动部件移动或旋转。尤其是高速、高精度直线运动系统大部分采用直线马达驱动方式，如贴片机横梁上贴片头的驱动。运动精度较低时采用直流/交流伺服电机、步进电机加滚珠丝杠的驱动方式。驱动系统根据系统精度高低分别选用全闭环、半闭环和开环形式。由上可见，直线马达可使对准槽做变得如此简单，直线马达对于该平台的重要性还是非常大的，。

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