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直线电机提高了生瓷片的叠片精度

2021/4/16 13:39:17      点击:

直线电机提高了生瓷片的叠片精度。生瓷片的叠片是LTCC低温陶瓷工艺很重要的一步骤,为了适应我国电子装备高性能、微型化的发展需要,要求基础元件中LTCC器件向高密度和微型化发展,其多层基板的层数和布线密度不断提高。

 

因此,LTCC生瓷片的单层厚度须降低,叠片精度须提高,在这种条件下手工销对位工艺已无法完成叠片过程。需要通过新的叠片工艺技术来提高叠片的精度,并能对更薄的生瓷片进行叠片。而生瓷片从定位台到叠片台的移送精度是保证叠片精度的关键因素之一。只有保证了每次移送后的重复精度,才能保证在定位台上的定位精度没有变化。

 

为此设计中,脱模后生瓷片的传送全部采用多孔石吸附,防止由于吸附不均匀引起的收缩变形。传送的执行机构选用直线电机,并配以细分后达到高精度的光栅尺反馈,形成闭环系统,实现生瓷片的精密平稳移位。在实际测量时,移片机构的重复精度高。

 

所谓直线电机可以认为是旋转电机在结构方面的一种变形,它可以看作是一台旋转电机沿其径向剖开,然后拉平演变而成。直线电机具有结构简单、高加速、推力平稳、高传动强度等优点。

 

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