直线马达应用于晶圆探针台。近年来，直线马达因其自身良好的优点被广泛应用于半导体行业的固晶机、焊线机、光刻机、晶圆探针台等等设备中，晶固机、焊线机、光刻机小编之前经常提到过，为大家讲解过，而晶圆探针台小编很少提到，所以现在就由小编给大家简单讲解下直线马达在晶圆探针台的应用。

其实，直线马达应用于晶圆探针台中，主要是为了驱动X-Y工作台。据小编了解，无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其较核心的部分。其中直线马达由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特别性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。

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