直线电机EUV光刻机出货异常，纯属虚构。近期，中芯股价持续下跌，10月7日跌幅一度超过6%，不禁让人心生疑惑：一向股价平稳的中芯怎么突然遭遇这一出？

原来，是受一则发酵的虚假信息影响，据直线电机小编所知，2018年中芯斥资逾1.2亿欧元（约10亿人民币）向荷兰ASML公司订购了一台EUV光刻机，用于研究7nm及以下的先进工艺，预计2019年年底交货，2020年正式安装，而日经新闻发布消息称，受美政府关切ASML将延后对中国晶圆代工企业中芯出货。

针对此事，ASML和中芯先后回应表示“该消息纯属虚构”，ASML回应称对于日经新闻报道的关于交货时程只是媒体推测，ASML从来没有评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。中芯回应称EUV还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结都很正常，客户与设备导入正常运作。”

直线电机小编了解到，世界范围内只有荷兰的ASML公司掌握了EUV光刻机的研发、生产，也难怪上述虚假信息能掀起轩然大波，说到光刻机，直线电机因具备高精度、高平稳性、低噪音、长寿命等特性，已有用于其中的实际案例。

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