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直线马达(直线电机)带你了解光刻机

2018/9/17 9:05:55      点击:

直线马达(直线电机)带你了解光刻机。光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。在这里同茂直线马达(直线电机)小编给大家科普下。光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;C 自动: 指的是
从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

在半导体行业中,直线马达(直线电机)以其高速、高精度、无污染的特点,广泛应用于光刻机设备,而且单台设备往往需要多台直线马达(直线电机)

由于光刻机需要高精度系统来对准光刻,制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺,而直线马达(直线电机)便是光刻机高精度系统的不二选择。

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