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直线马达和EUV光刻的相关性

2021-6-3 13:38:04      点击:

直线马达和EUV光刻的相关性。据小编了解,EUV光刻全称为Extreme Ultraviolet Lithography,是一种极紫外线光刻工艺。芯片制造商通过EUV光刻技术,能够持续生产更小、更快、更强大的芯片,同时还能有xiao控制成本。所以,为什么企业都看好它。但要提到它的设备,还有一点不得不提就是直线马达

 

因为有光刻机的工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线马达粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度, 一种开闭环D型迭代学习控制律还提高了直线马达的轨迹跟踪精度,这些技术的结合为光刻机带来了巨大的好处。可以说直线马达对光刻机是非常重要。这也是直线马达和EUV光刻重要的相关性。

 

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